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以微型化为基本特征的微电子机械系统,对比传统机械系统,尺寸更加微小,总体尺寸不会超过一个厘米,甚至仅仅处于微米量级,而它们的厚度甚至以纳米计。长度尺寸如此明显的微小化特征,使得表征组成微机电系统的微器件的物理量和机械量等在微观尺寸相比传统机械呈现完全不同的特征,被称为尺寸效应。尺寸效应使得广为应用的宏观力学研究结果无法直接适用于微观的场合。现有的对于尺寸效应的认识表明,宏观尺寸与微观尺寸导致力学性能不同的原因主要是均匀介质与连续介质的假设。经典的弹性力学认为,物体是连续的均匀的。普遍的认为,该假设对