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本文研究了溶胶凝胶法(sol-gel)和脉冲激光沉积法(PLD)制备La1.89Ce0.11CuO4(LCCO)超导薄膜的制备工艺及其微细图形的加工工艺,获得了具有共格外延特性的La1.89Cc0.11CuO4/YBa2Cu3O7-δ(LCCO/YBCO)双层超导结构,并研究了其电学特性。其主要研究内容如下:(1)研究了脉冲激光沉积法制备LCCO中热处理温度、气氛和退火温度等参数对LCCO超导薄膜结构和超导电学性能的影响,得到了 700℃热处理温度、30Pa氧气和600℃退火的最优工艺,R-T测试表明其超导转变温度约为24K。(2)在YBCO上制备了 LCCO超导薄膜,R-T测试发现双层超导薄膜中YBCO的超导转变温度约为45K,LCCO在16K附近发生超导转变但电阻没有最终变为零。对LCCO/YBCO双层结构的紫外辐照测试表明,该结构有明显的光生伏特现象,超导转变时界面势垒的变化使得光电压和光光电流出现一个跳变现象,分析认为是由于其界面由PN结特性转变为肖特基特性。(3)以硝酸镧、乙酸铜和硝酸铈作为起始原料,甲醇作为溶剂配置了稳定的LCCO溶液。研究了热处理温度、热处理气氛和湿气等因素对LCCO薄膜生长结构的影响,在650℃热处理温度、先氮氧混合气后纯氮气的工艺下获得了纯T’相的LCCO超导薄膜。(4)以苯甲酰丙酮(BzAcH),乙酰丙酮(AcAc)或2,2’-联吡啶(BPY)为化学改性剂制备了三种LCCO光敏溶胶。研究了上述化学改性剂和超导溶胶的螯合分解机制。紫外曝光实验表明曝光后螯合物被分解,分解产物在有机溶剂中的溶解度大大降低。利用这种溶胶的自感光特性,制备了 LCCO薄膜微细图形,三种感光剂中BzAcH制备的制备的图形精度最高。BPY的图形精度最低。XRD图谱和R-T曲线表明,上述化学改性剂的添加对LCCO的结构和超导性能没有影响,是一种简单高效的无损微细加工方法。