传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。在各种传感器中,硅压力传感器是应用最为广泛的一种。目前国内市场上硅微压力传感器的量程都在1kPa以上,更低量程的产品要依靠国外进口,因此进行更低量程的硅微微压传感器的研究,实现相关技术攻关对于促进硅微压力传感器技术提高和相关产业发展有着实际意义。本文主要对实现测量范围为0-100Pa压力测量的硅微微压传感器进行些研究,本文首先对硅压阻式压力传感器的工作原理进行分析,回顾了微压化进程。通过对感压薄膜的力学结构的分析与比较,从而实现传感器结构的优化。采用ANSYS软件进行有限元模拟,并进行了动力学分析。接着研究了压力传感器的动态特性,用一种带有特殊白化预滤波器的广义最小二乘的迭代法进行辩识建模。分析了零极点对系统动态特性的影响,研究了利用重新配置零极点来改善系统动态特性的方法;然后,基于零极点配置的方法,设计了补偿数字滤波器,扩展了传感器的工作频带。