【摘 要】
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该文以原有测试系统的设计原理为基础,建立了一套薄膜热释电红外探测器性能的动态测试系统.该系统可测得探测器在不同黑体温度、不同调制频率下热释电响应与噪声电压值,并计
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该文以原有测试系统的设计原理为基础,建立了一套薄膜热释电红外探测器性能的动态测试系统.该系统可测得探测器在不同黑体温度、不同调制频率下热释电响应与噪声电压值,并计算星探测率.测试结果采集与计算均通过软件完成.在黑体温度为500K、测试频率为1Hz以及测试带宽为2Hz测试条件下,测得160×160μm<2>探测器的电压响应为52.498μV,星探测率D*为1.724×10<7>cm·Hz<1/2>/W.建立了薄膜热释电探测器的脉冲极化系统,可并行输出8路脉冲序列对敏感元阵列进行极化.脉冲幅度在0～48V内连续可调,脉冲宽度为毫秒数量级,脉宽、占空比以及脉冲数目均可调节.设计了薄膜热释电探测器的电晕极化夹具.电极两端直流高压可在6000～10000V之间连续调节,放电尖端自身排列及其样品台间距均可以一定精度调节.
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