有机物修饰Si衬底上类金刚石膜的制备及摩擦性能研究

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简要介绍了类金刚石薄膜(DLC)的分类、制备、性能及应用;叙述了有关磁过滤阴极弧沉积(FCVA)和微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MW-ECRCVD)两种制备方法;用这两种镀膜方法制备有机薄膜/DLC复合薄膜,有机过渡层选用了两种,分别为3-Aminopropyl-triethoxysilane(APS)和N-[3-(Trimethoxysilyl)-propyl]diethylenetriamine(TA)。先进行无有机过渡层DLC薄膜的制备,找到最佳沉积条件,然后
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