作为集成光学的基础性结构,光波导得到了广泛的研究。制作光波导的材料有很多,其中高分子聚合物具有传输损耗低、耐高温、热光系数高、热传导率低、造价低廉等优点而被重点研究。本文主要是用旋涂法在石英玻璃上制备了具有刚性链节(PMDA)和半柔性链节(BTDA)的含氟(6FDA)聚酰亚胺光波导。本论文的研究内容主要为以下几个方面：首先详细地推导了薄膜波导的模式理论公式,分析了波导折射率和厚度的测量方法,即棱镜耦合法；然后系统地介绍了波导制备和测试的一系列流程,包括清洗基片、配制聚酰胺酸溶液、旋涂薄膜、退火、测试等。其次本文实验第一部分制备了溶质为ODA+6FDA/PMDA的刚性含氟聚酰亚胺薄膜,第二部分制备了溶质为ODA+6FDA/BTDA的半柔性含氟聚酰亚胺薄膜；通过大量的实验讨论了退火温度、氟离子浓度、退火时间和旋转速度对所制备波导性能的影响,并且得到了波导性能和工艺参数之间的关系。氟离子浓度、退火温度、退火时间主要影响波导的折射率；而旋转速度主要影响波导的厚度。根据不同的溶质分子结构和不同的成分混合比例,在完成热亚胺化之后,波导折射率随温度的变化趋势不同。在这时折射率随浓度变化呈现线性关系；而在热亚胺化完成之前并不呈现线性关系。观察到缩短退火时间可以提高完成热亚胺化的温度。经过一系列实验得到了薄膜厚度与旋涂转速的经验公式。最后用垂直堆砌多层结构的方法,在石英玻璃基片上甩胶四次制得了表面光滑并且厚度较厚的光波导,这样既降低了散射损耗,又可以制得不同厚度的薄膜来满足不同的需要。