随着以煤炭、石油、天然气为代表的传统不可再生能源的日益枯竭,太阳能作为一种绿色、清洁、取之不尽用之不竭的新型能源越来越受到人们的重视。其中,多晶硅太阳能电池又是一种商业化程度较高的太阳能利用产品。电池片厂商所关注的重点无不最终落到如何提高电池片的光电转换效率和降低电池片的生产成本上。本文通过一系列研究旨在从工艺流程和工艺参数两方面给出一套适合工业生产的PERC高效太阳能电池生产的参考工艺方案。主要工作内容如下：1、创新性的使用TMAH溶液作为多晶硅太阳能电池背面抛光及p-n结去除用腐蚀液,并采用一种新的“正面SiNx掩膜法”工艺,很好的达到了背抛光、去结效果。通过实验探索最优的电池片抛光、去背结预处理参数,以及TMAH溶液腐蚀反应的腐蚀液浓度、水浴反应温度、反应时间、腐蚀厚度等参数。最终制成平均效率高于传统产线0.2%的成品背面抛光、去背结多晶硅太阳能电池片。2、在考虑工业生产成本与电池片效率提升效果的基础上,选择"PECVD法制备SiON背面钝化薄膜”以及“在线式高速ALD制备A1203背面钝化薄膜”两种方式制成PERC电池片并比较其背面钝化效果。最终利用"PECVD法制备SiON背面钝化薄膜”制成的成品PERC电池片效率相对传统产线有0.12%的提升,利用“在线式高速ALD制备A1203背面钝化薄膜”制成的成品PERC电池片效率基本与传统产线水平相当。通过对数据的分析,验证了两种钝化薄膜的钝化机理,为未来背面抛光、钝化太阳能电池的生产提供了理论与实践参考。