【摘 要】
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目前制约MEMS开关应用的主要瓶颈是开关的可靠性问题。MEMS开关的设计涉及到力学、材料学、电磁学、热力学和表面微加工等领域,要改善MEMS开关的可靠性需要综合考虑以上各个因素。本文旨在分析MEMS开关的失效机理并给出相应的改进措施,同时对MEMS开关在微波电路中的典型应用进行研究。文中包含主要的工作内容如下:1.直接接触式固支梁MEMS开关的机电性能研究。推导了开关的下拉电压,并给出了开关在up
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目前制约MEMS开关应用的主要瓶颈是开关的可靠性问题。MEMS开关的设计涉及到力学、材料学、电磁学、热力学和表面微加工等领域,要改善MEMS开关的可靠性需要综合考虑以上各个因素。本文旨在分析MEMS开关的失效机理并给出相应的改进措施,同时对MEMS开关在微波电路中的典型应用进行研究。文中包含主要的工作内容如下:1.直接接触式固支梁MEMS开关的机电性能研究。推导了开关的下拉电压,并给出了开关在up态和down态的集总参数等效电路。通过COMSOL软件建模仿真,得到开关的下拉电压约为40V。采用HFS
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