柔性传感器的基础设计与制备

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柔性压力传感器的诞生和发展,旨在弥补刚性传感器在不规则表面压力信号检测上的不足,以期可以贴附在各种不规则的物体表面。当前国内外对集成化阵列式传感器的研究比较少,阵列式传感器普遍存在着密度偏小、体积偏大等问题。本论文以纳米级乙炔炭黑、镀银玻璃微球为导电填料,107硅橡胶为基体材料,通过对铝箔进行图形化处理作为柔性电极阵列,设计并制作了一款高密度的柔性阵列式压力传感器,并基于LabVIEW虚拟仪器和STM32搭建了阵列式压力感知检测系统。1)选择一种厚度仅为20μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)单面镀铝AL的PET/AL薄膜为柔性电极材料,采用相对简单的丝网印刷工艺和盐酸刻蚀工艺制备柔性电极阵列。电极引线设计成了适合于FPC插座的接口标准,电气连接方便。最终在9cm~2集成了100个电极单元,电极最小直径为2mm。2)研究了炭黑、镀银玻璃微球、气相硅填充比例以及硅橡胶粘度等因素对导电橡胶的压阻性能和弛豫时间的影响,针对这些因素进行了大量实验对比,根据实验结果不断地调整改进。结果表明,采用黏度为8000c St的硅橡胶作为基体材料,填充炭黑5%、镀银玻璃微球12%、气相硅1.5%时,压敏层效果最好,在0-7N压力范围压阻性能良好,弛豫时间5s。3)提出了三种阵列传感器封装方案,并进行了具体方案实施对比。结果表明,采用图形化设计的双面胶作为上下电极和中间敏感层的黏接材料,封装完成的阵列式传感器厚度约0.54mm,阵列点间相互干扰小。4)使用STM32单片机和CD4051八选一双向数据选择器搭建传感器阵列信号采集和处理电路。使用LabVIEW设计上位机对传感器阵列的压力数据进行实时显示。
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