本文选题于吉林省高技术重大项目“大功率激光器质量检测及筛选设备开发”,以电导数方法为主,深入研究了高功率半导体激光器及其列阵的可靠性检测技术。首先,在研究了半导体激光器电导数特性以及电导数测量方法的基础上,首次提出基于虚拟仪器技术的电导数测量方法,设计了基于虚拟仪器软硬件开发平台的高功率单管激光器电导数测试系统,实现了高功率单管激光器的电导数测量。对多批不同结构高功率激光器的电导数测试结果表明,该系统性能稳定,测试结果一致性良好,为高功率单管激光器的质量和可靠性评价、失效机理分析提供了一种快速、无损、方便的方法。在此基础上,首次将电导数方法推广应用到激光器列阵的可靠性检测。设计了高功率激光器列阵的电导数测试系统,获得了激光器列阵的电导数曲线以及相关参数。对几十支不同结构的高功率激光器列阵的测试结果初步表明了电导数方法评价列阵器件质量的可行性。进而建立了列阵激光器的等效电路模型,为应用电导数技术测量列阵激光器的可靠性提供了理论依据,并开展了多单管激光器并联模拟列阵的实验,结合理论分析和计算机仿真,研究了列阵单元电导数参数与列阵电导数参数之间的关系,以及列阵单元的一致性在列阵电导数曲线及其参数上的体现,对利用电导数参数作为列阵可靠性判据提供了重要参考。针对激光器电导数测试过程中的强噪声影响,成功运用了非线性扩散方程对测试曲线进行了降噪,在保护曲线特征的前提下达到了去噪的目的,提高了参数提取的准确性和一致性。