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HTHP和MPCVD单晶金刚石结晶质量和刻蚀对比研究
【摘 要】
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金刚石作为目前自然界中硬度最高的材料,不仅在珠宝市场上具有极高的商业价值,在传统工业领域中也有广泛应用,如在机械加工中可作为高硬切割刀具、磨削砂轮、研磨颗粒;在钻探与开采中可作为钻头使用;在各种精密仪器中作为光学窗口等。这些利用了金刚石的超硬性质、极低摩擦系数、极低热膨胀系数、高化学稳定性、光学等特性。近年来,随着金刚石制备技术的发展,其优异的半导体特性,如宽带隙、高热导率、高击穿电压、高载流子迁
【出 处】
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山东大学
【发表日期】
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2021年09期
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