激光超声光学检测系统的研究

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该论文基于超声检测原理,针对激光超声检测技术的特点,结合多光束干涉原理和Doppler测速原理提出并建立了一套光学测量系统,对固体表面超声振动进行检测.该论文分析了激光超声的工作机理,建立了热弹点源数学模型,并给出了热弹效应和烧蚀效应下点源超声场的传播方程;对目前出现的几种光学检测超声振动的方法进行了分析,特别分析了球面共焦Fabry-Perot干涉仪的工作原理,并对如何提高其使用性能进行了探讨.基于光学Doppler原理设计了一套光学测量系统进行固体表面超声振动的检测,提出一种球面共焦Fabry-Perot干涉仪共焦状态调整方法,并详细分析了干涉仪在安装调整过程中各种误差的影响;采用光学反馈控制系统、PI调节器等措施,实现对干涉仪腔长的自动调整,克服了环境和激光频率漂移带来的干扰;光电检测电路中采用信号比例调节等补偿措施,减少了被测件表面粗糙度变化对测量结果的影响.整套测量系统用计算机控制,实现测量自动化.利用该系统对金属表面超声振动进行了研究,得到清晰超声振动波形,同时用该检测系统对金属缺陷进行超声探伤实验,通过对检测波形的分析,分辨出在铝样品中10mm的人工缺陷.
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