在工业应用中,对磁控溅射电源功率的要求在不断增加。为了适应多种需求,本文提出了使用单模块电源来积木式迭加功率的方法。在单模块电源中使用有限双极性控制方式来降低开关损耗;在多模块并联中使用均流芯片UC3907以实现模块电源的均流,保证单模块电源的安全、可靠工作。考虑到常用电力电子器件的参数和磁控溅射电源的基本要求,给出了单模块电源的指标和整个系统的参数。在对几种常用的全桥变换器控制方式进行对比的基础上,选择使用有限双极性控制方式来实现单模块电源中开关管的软开关,降低了开关损耗。同时还详细分析了单模块电源中软开关的实现过程和一些主要元器件的设计和选择。根据电路驱动要求,设计一种IGBT强驱动电路。本文还给出了一些在单模块电源中遇到调试问题和解决方法。在此基础上给出了开关管实现软开关的实际波形及相关分析。通过实验验证,实际波形和理论分析的波形可以很好吻合,且表明单模块电源能够在很宽负载范围内实现软开关。