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本文在分析现有微进给机构的基础上,设计了基于弹片式柔性铰链和应力刚化原理的刚度频率可调的微进给机构,以消除制造过程中的误差,更好的适应工况变化。并以结构力学、柔性铰链理论、数据拟合等数值分析方法为理论指导,建立了关于微进给机构承载刚度和进给频率的理论模型,应用MATLAB优化工具箱开发了弹片式柔性铰链的尺寸优化软件模块。在研究上述课题关键技术的基础上,取得了以下成果：(1)设计了一种以压电陶瓷为驱动元件,弹片式柔性铰链为位移放大和导向装置的微进给机构；通过调节弹簧片上所施加的张紧力来改变结构的刚度和