本文采用多弧离子镀技术在碳纤维增强铝基复合材料表面制备TiN膜,通过对影响镀膜过程的重要因素:负偏压、氮气流量、弧电流、沉积时间等的研究,得出其对镀膜厚度和性能影响的规律,实验证明,靶电流55A、负偏压200V、氮气流量350ml/min、沉积时间60min时TiN薄膜具有最佳的综合性能。X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射技术(XRD)研究合金膜的相结构。扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析试样的微观形貌;纳米力学探针测量了TiN膜的硬度、弹性模量;划痕法表征了TiN膜的膜基结合强度;恒电位仪研究了TiN膜在3.5%NaCl溶液中的电化学腐蚀行为。研究结果表明:阴极电弧离子镀工艺参数对TiN膜的表面形貌和粗糙度有明显影响;随着负偏压的增加,TiN膜的表面粗糙度降低。随着沉积时间的增加,粗糙度增大。负偏压和沉积时间对TiN膜的纳米压痕硬度和弹性模量也有明显影响。表面镀TiN后碳纤维增强铝基复合材料耐蚀性显著提高,腐蚀电流下降,腐蚀电位升高。TiN膜的腐蚀存在两种主要形式:当负偏压较低,沉积时间较短时,TiN膜较薄且疏松、存在针孔等微观缺陷,腐蚀形式主要为点蚀;当负偏压较高,沉积时间较长时,TiN膜较厚,腐蚀形式主要为均匀腐蚀。