光波导阵列电光扫描技术是一种无惯性、高分辨率的光束扫描技术。它具有扫描速度快、驱动电压低、扫描范围大等优点。本文中我们分析了光波导阵列电光扫描器的工作原理和其特性,根据其特性提出了针对光波导阵列电光扫描的两种检测方案:一种是运用硅光电二极管阵列进行检测,主要适用于高速扫描;另一种是运用电光扫描所产生的CCD图像来进行检测,主要适用于低速扫描。在建立CCD图像采集处理系统的过程中,我们设计了基于PCI总线的图像采集卡,满足了图像采集要求。在对其进行二次开发的基础上建立了一套检测系统,符合实验检测要求。我们对采用MOCVD技术研制的P-I-N型光波导阵列进行了实验研究和数据分析。在图像处理的过程中我们采用小波理论进行降噪处理,并进行了实验研究,证明采用小波理论能有效地去除图像中的加性噪声,改善图像的质量,可以提高检测的精度。