高频率稳定度的半导体激光器在原子波谱学、高分辨光谱学、量子计量学、光纤通信、激光测量及激光原子冷却等一系列基础研究和高科技产品开发中有广泛的应用,半导体激光器的稳频具有十分重要的意义,用于表征激光器稳频程度的频率稳定度的测量亦具有了一定的研究价值。激光的频率约1014~1015HZ,直接测量激光频率的稳定度是非常困难的。理论分析表明激光频率稳定度与拍频频率的稳定度相同。本文设计了一种测量仪,基于拍频技术对半导体激光器频率稳定度进行相对测量。首先利用声光调制器对激光进行分频,产生具有一定频差的两束光,再通过光学器件混频,采用“拍频”技术将高频难测的激光转化为频率相对低的光拍频信号,然后利用光电探测器将其转化成电信号,设计光电检测电路对该电信号进行放大、滤波、脉冲转换,通过基于ARM7 TDMI芯片LPC2214的实验系统硬件平台运用阿仑方差计算处理数据,得出激光的相对频率稳定度。通过实验证明我们所研制的测量系统具有测量迅速、显示直观、操作简便、制作方便、成本低廉、结果准确、精度较高等特点。因此,本测量系统具有一定的实用价值,可广泛应用于半导体激光器稳定性能的测试中,亦可适用于部分其他激光器频率稳定性能的测试。