【摘 要】
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采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ〈，２〉－Ｋ〈，２〉Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ〈，４〉陶瓷薄膜湿敏元件，研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ〈，２〉构成，化学组成为Ｔｉ：Ｋ：Ｌｉ：Ｚｎ：Ｖ：Ｏ＝１：０．０４：０．１：０．１：０．１：２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈ〈，２〉时，湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻抗－－湿度特性及电容－－湿度特性。元件还具有灵敏度高，滞后小，响应快，长期稳
【机 构】
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清华大学核能技术设计研究院(北京)
【出 处】
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第七届全国湿度与水分学术交流会暨第五届气湿敏学术交流会
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采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ〈，２〉－Ｋ〈，２〉Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ〈，４〉陶瓷薄膜湿敏元件，研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ〈，２〉构成，化学组成为Ｔｉ：Ｋ：Ｌｉ：Ｚｎ：Ｖ：Ｏ＝１：０．０４：０．１：０．１：０．１：２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈ〈，２〉时，湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻抗－－湿度特性及电容－－湿度特性。元件还具有灵敏度高，滞后小，响应快，长期稳定性好等优点。工作频率和温度对感湿性能有一定影响。
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