【摘 要】
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Silicon carbide (SiC), one of the oldest known semiconductor materials, has recently been the focus of much materials research due to its excellent physical and chemical properties such as high therma
【机 构】
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Institute of Optoelectronic Material and Technology,South China Normal University,Guangzhou 510631,C
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Silicon carbide (SiC), one of the oldest known semiconductor materials, has recently been the focus of much materials research due to its excellent physical and chemical properties such as high thermal conductivity,extremely high hardness, high saturated electron drift velocity and high break down electric field[1,2].
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