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为了研究高功率系统中高反膜的损伤机制。对高功率系统中最常用的基频高反膜进行了损伤实验。利用扫描电镜，表面轮廓仪等手段，对实验样品的典型损伤形貌进行了比较和分析.结果表明：加有保护典型破坏形貌是由材料热物特性差异导致的分层剥落结构;未加保护膜样品的典型破坏形貌是中心带有微坑的等离子体烧蚀损伤区，其主要是由于缺陷受热力作用喷溅导致。小坑附近膜面的凸起是这种力学作用。保护膜的存在，在一定程度上抑制了分层剥落这种灾难性损伤的出现，改善了样品的损伤特性。