圆度仪应用及功能开发

来源 :2001计量测试学会研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：roytseng

【摘要】

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圆度仪是用于评定工件圆度的精密仪器,其圆度误差测量精度高达±(0.04μm+0.003μh/mm),然而,该仪器却不能提供精确的圆半径值.本文分析圆度仪不能正确测量半径值的原因,提出

【作者】

：

蒲竞秋电子工程研究所

【机构】

：

中国工程物理研究院

【出处】

：

2001计量测试学会研讨会

【发表日期】

：

2001年10期

【关键词】

：

圆度仪精密测量误差分析圆度测量

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圆度仪是用于评定工件圆度的精密仪器,其圆度误差测量精度高达±(0.04μm+0.003μh/mm),然而,该仪器却不能提供精确的圆半径值.本文分析圆度仪不能正确测量半径值的原因,提出一种比较测量的方法,有效地消除了圆度仪测量半径不准确的因素,实现了用圆度仪精密测量半径的功能,并对该方法进行了精度分析.

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