【摘 要】
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85﹪以上的单晶硅采用直接法(CZ)制备.CZ晶体生长炉热场部件如发热体、坩埚隔热衬套等常用高纯石墨制造,随着晶圆直径的加大,石墨材料的局限性日益明显.炭/炭复合材料的机械性能高于石墨,尺寸稳定性好、耐冲击,通过纯化处理,该材料的金属杂质含量可减低至5ppm以下;C/C复合材料可以组装成复杂大型零件,其组织结构和材料性能的可设计性强.
【机 构】
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中南大学粉末冶金国家重点实验室(湖南长沙)
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85﹪以上的单晶硅采用直接法(CZ)制备.CZ晶体生长炉热场部件如发热体、坩埚隔热衬套等常用高纯石墨制造,随着晶圆直径的加大,石墨材料的局限性日益明显.炭/炭复合材料的机械性能高于石墨,尺寸稳定性好、耐冲击,通过纯化处理,该材料的金属杂质含量可减低至5ppm以下;C/C复合材料可以组装成复杂大型零件,其组织结构和材料性能的可设计性强.
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