【摘 要】
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通过闭合场非平衡直流磁控溅射制备了一系列不同Ti含量MoS2/Ti复合薄膜，分析这些薄膜在不同湿度环境下的摩擦学行为，并找出不同湿度下具有最低摩擦磨损MoS2/Ti复合薄膜所对应的Ti含量.实验结果表明：MoS2/Ti复合薄膜在高湿度下的摩擦系数明显高于低湿度环境，在湿度为13％RH时，薄膜的摩擦系数变化幅度不大，随着Ti含量的增加薄膜的摩擦系数以及磨损率先降低后升高；当Ti含量为4.6％时，薄膜
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州 730000;中国科学院大学,北京100049
【出 处】
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第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
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通过闭合场非平衡直流磁控溅射制备了一系列不同Ti含量MoS2/Ti复合薄膜，分析这些薄膜在不同湿度环境下的摩擦学行为，并找出不同湿度下具有最低摩擦磨损MoS2/Ti复合薄膜所对应的Ti含量.实验结果表明：MoS2/Ti复合薄膜在高湿度下的摩擦系数明显高于低湿度环境，在湿度为13％RH时，薄膜的摩擦系数变化幅度不大，随着Ti含量的增加薄膜的摩擦系数以及磨损率先降低后升高；当Ti含量为4.6％时，薄膜摩擦系数最低，而在Ti含量为6.57％的时候磨损率最低.
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