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该工作针对一种新型的电容式平衡加速度计－－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。模拟结果表明该加速度具有灵敏度高，抗冲击性能好的特点。
微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟
【摘 要】
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该工作针对一种新型的电容式平衡加速度计－－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。模拟结果表明该加速度具有灵敏度
【机 构】
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科学字上海冶金研究院传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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