硫系玻璃薄膜具有良好的光学特性,如红外区有很好的透过性,化学性质稳定,非线性高,折射率大等.这些特性,使硫系非晶薄膜在民用、军用以及医学等领域获得了广泛的应用.作为硫系玻璃材料研究光学器件集成化、小型化领域的一个重要方向,相比较于氧化物薄膜,硫系玻璃薄膜具有透过率高、光学质量优良、二阶非线性光学系数大等优势,其在光波导、适应光学、光调制、全光开关、太阳能电池、光存储等方面获得了大量的应用.Te基材料比S 基、Se 基材料具有更宽的红外透过范围,在生命探测、生物有机物的指纹区探测应用具有应用前景.本文旨在研究并报道Ge15Ga10Te75 三元硫系薄膜性能,采用传统的熔融-淬冷法制备镀膜所需的靶材,组分为Ge15Ga10Te75；采用磁控溅射法,在载玻片上沉积非晶态薄膜,并对其进行了性能表征,包括XRD,SEM,透过光谱,Raman光谱等测试,结果表明沉积的薄膜是非晶态的,其质地均匀、密实,厚度达到了1um 以上；短波截止波长在2um 左右,平均透过率达到了45％以上；与靶材相比,薄膜的结构没有明显的变化,其成分有所偏差但偏差很小.