ZAO薄膜特性及发展方向

来源 :2006中国玻璃行业年会暨技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hally123
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掺铝氧化锌(ZAO)具有一系列的独特性能,近年来引起人们广泛关注.本文结合国内外发展背景,对近几年来我国在ZAO薄膜研究领域的发展状况从结构与机理、薄膜特性以及应用三个方面给予回顾,并对今后的发展予以展望.
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