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铝微波元件离子镀银工艺试验研究
铝微波元件离子镀银工艺试验研究
来源 :中国通信学会通信设备结构工艺学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dfddfasfafjdkjfkekjk
【摘 要】
:
该文介绍了铝基微波元件的离子镀银的工艺试验研究。通过扫描电镜、X光衍射的形貌观察及电性能数据的分析,表明其银膜纯度高、均匀、平整、结合力良好。特别是微波电性能与目
【作 者】
:
陈甲生
张亚平
王宗英
【机 构】
:
电子部第54研究所
【出 处】
:
中国通信学会通信设备结构工艺学术交流会
【发表日期】
:
1986年期
【关键词】
:
微波元件
离子
镀银工艺
微波电性能
性能数据
形貌观察
试验研究
扫描电镜
工艺制备
结合力
光衍射
银膜
生产
铝基
纯度
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该文介绍了铝基微波元件的离子镀银的工艺试验研究。通过扫描电镜、X光衍射的形貌观察及电性能数据的分析,表明其银膜纯度高、均匀、平整、结合力良好。特别是微波电性能与目前其它生产工艺制备的元件相比,更为优越。
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