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<正>类金刚石薄膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等,显示出良好的应用前景越来越受到人们的关注。本文利用脉冲辉光 PECVD 在不同的气体比例和不同的脉冲偏压下均成功的制备了 DLC 薄膜。采用
脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究
【摘 要】
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<正>类金刚石薄膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等,显示出良好的应用前景越来越受到人们的关注。本文利用脉冲辉光 PECVD 在不同的气体
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室; 大连交通大学;
【发表日期】
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2004年期
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