Blue photoluminescence from crystalline silicon by He and H ion co-implantation

来源 :9th International Conference on Computer Siumlaation of Radi | 被引量 : 0次 | 上传用户：heeraigyf

【作者】

：

Mengkai Li Zhuo Wang Changlong Liu Junqi Liao Yanyan Shen

【机构】

：

School of Science, Tianjin University, Tianjin 300072, P R.China

【出处】

：

9th International Conference on Computer Siumlaation of Radi

【发表日期】

：

2008年12期

【关键词】

：

blue photoluminescence crystalline Si surface damage

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