【摘 要】
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STW(surface transverse wave)谐振器和传统的瑞利波谐振器相比,具有突出的优点.但是由于这一特殊模式的复杂性,对 STW 谐振器比较精确的模拟,特别是 Q 值的准确预测还存在困
【机 构】
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南京大学声学研究所; 瑞士GVR Trade SA公司;
【基金项目】
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国家自然科学基金项目的资助，项目编号：10504014
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STW(surface transverse wave)谐振器和传统的瑞利波谐振器相比,具有突出的优点.但是由于这一特殊模式的复杂性,对 STW 谐振器比较精确的模拟,特别是 Q 值的准确预测还存在困难.主要原因是很难将各种损耗机制均考虑在理论模型之中.即便是表面波最精确的理论-有限元/边界元(FEM/BEM)理论,在模拟 STW 谐振器时,得到的 Q 值也有很大的误差.本文通过引进基片的材料损耗因子和电极的粘滞损耗因子,对 FEM/BEM 理论进行了修正,使得这一理论能够比较精确预测 STW 谐振嚣的 Q 值,以便理论上优化设计 STW 谐振器.最后以单端对谐振器为例,讨论了器件的优化.
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