iAlN/ZrN纳米多层涂层的界面结构与力学性能研究

来源 :TFC`15全国薄膜技术学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a9s5c112j6b
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  纳米多层涂层的界面强化效应可提高涂层的硬度以及阻碍裂纹扩展并改善涂层的韧性,因而成为涂层材料的研究热点,其中含Al氮化物纳米多层涂层由于其优良的力学性能和热性能而被应用于切削刀具.纳米多层涂层的性能与其层间界面结构密切相关,本研究选用TiAlN和ZrN两种氮化物涂层组合制备不同调制比(调制周期约5~7nm)的TiAlN/ZrN纳米多层涂层,对其界面结构及力学性能进行了细致研究.研究表明:TiAlN和ZrN单层涂层为面心立方结构;TiAlN/ZrN纳米多层涂层的界面结构随其调制比的变化而发生改变:以TiAlN为"模板"层,晶格常数大的ZrN难以在TiAlN层上共格生长,而以ZrN为"模板"层,TiAlN层则可以在ZrN层上共格生长形成超晶格结构;超晶格结构的TiAlN/ZrN纳米多层涂层的界面强化效应使其硬度升高,具有超晶格结构的TiAlN/ZrN纳米多层涂层,最高硬度达到了34.7GPa.
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