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Characterization of PZT ferroelectric thin films prepared by a modified sol-gel method
【机 构】
:
Xiamen University,Pen-Tung Sah MEMS Research Center, Xiamen, Fujian, China
【出 处】
:
2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE
【发表日期】
:
2008年期
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