【摘 要】
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随着能源问题的日益凸显，功能性玻璃正逐渐被人们所重视，而作为镀膜工艺的关键部件之一——阴极的设计与生产，核心技术多被外企所垄断，国内在该领域的设计与研究尚属起步阶段
【机 构】
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合肥工业大学真空科学技术与装备研究所 合肥 230009
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随着能源问题的日益凸显，功能性玻璃正逐渐被人们所重视，而作为镀膜工艺的关键部件之一——阴极的设计与生产，核心技术多被外企所垄断，国内在该领域的设计与研究尚属起步阶段。阴极设计主要分为：机械结构及磁场分布两个方面。其中磁场的布局直接影响到溅射工艺的优劣及其生产效率高低。合理、精准的磁场排布能够有效的提高磁场的均匀性，增加靶材的利用率。因此对特定点位的磁场测量，提出了极高的要求。
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