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皮秒激光微细加工系统集成视觉检测系统&自动化系统&机器人系统在半导体晶圆划片、IC指纹识别芯片切割、电感陶瓷高速钻孔、消费电子常见脆性材料(玻璃、陶瓷、蓝宝石)切割、陶瓷基板微细切割钻子L、柔性电子薄膜切割钻孔等应用上的工艺技术研发、设备集成及成套解决方案。
激光微细加工+自动化+机器视觉+机器人的综合应用
【摘 要】
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皮秒激光微细加工系统集成视觉检测系统&自动化系统&机器人系统在半导体晶圆划片、IC指纹识别芯片切割、电感陶瓷高速钻孔、消费电子常见脆性材料(玻璃、陶瓷、蓝宝石)切割、陶瓷基板微细切割钻子L、柔性电子薄膜切割钻孔等应用上的工艺技术研发、设备集成及成套解决方案。
【机 构】
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盛雄激光
【出 处】
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第十届亚洲(深圳)国际激光智能制造展暨论坛、第二届亚洲(深圳)国际工业4.0展暨论坛
【发表日期】
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2016年11期
其他文献
我们通过焦点整形，实现了三维微纳结构的飞秒激光单次曝光制备。使用二维纯相位空间光调制器，将飞秒激光的焦点由直写中常见的椭球形整形成具有三维结构的立体分布，单次曝光就可以制备出双螺旋等三维结构，不需要逐点扫描。该方法在高速制备三维微纳结构的阵列方面具有应用前景。
会议
飞秒激光是一种极端的物理条件。本报告将介绍飞秒激光与透明材料相互作用的基本原理，以及我们发现的新现象如离子价态变化，折射率变化，纳米颗粒析出控制与擦除，偏振依赖纳米光栅以及它们可能的应用，如集成光波导，超高密度光存储，超快光开光等。
会议
通过对超快激光产生的原理及激光与物质相互作用的一般规律的分析，结合皮秒激光微孔加工机理，运用脉宽为300ps的皮秒激光器在304不锈钢、铝合金和硅片进行打孔试验，重点分析激光功率、切割速度、离焦量、打孔次数、打孔方式和辅助气体对微孔质量的影响规律。对单因素分析的基础上，选择对试验结果有重要影响的离焦量、功率、切割速度设计了正交试验，得到了最佳的工艺参数组合。运用最佳参数加工出了直径为200 μm的
会议
近年来，超快激光在工业微纳加工领域得到了迅速的关注与发展。由于超快激光的脉冲宽度与传统激光器存在很大的差异，它在与物质作用时的物理吸收与作用机制与传统激光器存在本质的区别。作者将就这一领域的最新成果与大家讨论分享。
会议
众所周知用超短脉冲激光加工对工件产生的热影响非常低。超短脉冲激光器在不同行业的有巨大应用潜力，如平板显示，印刷，电子，航空航天和汽车。到目前为止，我们实现了小部件的微精加工。超短脉冲激光技术更广泛的应用在于是宏观元件的微精加工。为了满足在工业应用中的高生产率和高精度的要求，首先就需要高功率/高能量超短脉冲激光源。有一个关于这方面的一些好消息：现在市场上已经有一些坚固耐用，性能稳定，参数范围较宽的超
会议
全固体激光器的技术与应用创新层出不穷。在超短脉冲领域里，自从突破了透明及脆性材料加工工业化应用后，能利用此技术加工的新材料蒸蒸日上，参数不断地优化以致得到最佳效果，其中包含复合材料以陶瓷。 除此之外，市场需求也同时推动了激光器的创新以及设计的优化。此报告指出了通快激光部对今年的发展做了个总结。
会议
随着超快激光器的快速發展，特别是皮秒激光器，超过100W输出功率的高平均功率超短激光源也越来越觸手可及。对于工业和商业应用束説，如何利用这样的高功率源的可用功率的问题，将变得越来越重要。如果所有的可用功率是在一个单一的光束中進行加工的工作，如通常所做的，我们可能会因为在這個过程中产生的热量失去超快激光器的独特优势。高速和超高速扫描可以缓解这个问题，但处理精度可能会受到影响。在这项讨论中，我们将讨论
会议
伴随着“中国制造2025”的深入推进，精密加工产业对于超快激光器的需求将会持续增长，同时，更多新的精密加工应用开始在市场呈现，本报告旨在探讨超快激光器的工业化生产制造、应用与普及。
会议