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本文对可控孔阴极的制造工艺进行了摸索,着重描述了用光刻法和聚焦离子束法加工CPD阴极,并给出了用聚焦离子束法加工的CPD阴极的伏安特性和欠热特性.
CPD阴极的研究
【摘 要】
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本文对可控孔阴极的制造工艺进行了摸索,着重描述了用光刻法和聚焦离子束法加工CPD阴极,并给出了用聚焦离子束法加工的CPD阴极的伏安特性和欠热特性.
【机 构】
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中电科技集团第十二研究所,阴极电子学研究室,北京,100016
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会
【发表日期】
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2005年期
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