3-D特殊结构互连电容的BEM模拟

来源 :企业信息化高级论坛全国第12届CAD/CG学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kaiping56
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本文分析了直接边界元素法计算VLSI中两类特殊结构互连电容器出现较大误差的原因,指出了均匀划分对这类特殊结构互连电容器存在不合理性.为保证计算精度,本文提出了一种与均匀划分具有相当划分数的非均匀网格划分策略,并利用后验误差估计对网格作一次加密.加密后采用层次式形函数作为所加密边界元的基函数,利用少量的额外计算量对计算结果作修正.数值结果表明本文的方法对这类特殊结构电容器的计算时结果稳定,可靠.
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