离子镀ITO透明导电膜

来源 :全国薄膜学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:alexiss
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文中阐述了一套以微机、数字化示波仪、分散式数据采集器、特制微型硅二极管温度计及铜一康铜热电偶为核心的自动化测温系统。此系统数采速度可达20μs/word,测温精度为0.3K,分