【摘 要】
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真空计的校准大多是在实验室温度下(23℃±3℃)进行的,与其实际使用的环境温度存在较大差异,导致真空度测量结果的准确性无法保证.目前在我国,高低温真空校准尚属空白,为
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州 730000
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真空计的校准大多是在实验室温度下(23℃±3℃)进行的,与其实际使用的环境温度存在较大差异,导致真空度测量结果的准确性无法保证.目前在我国,高低温真空校准尚属空白,为了解决不同环境温度下真空计校准的需求,研制了高低温真空校准装置.高低温真空校准装置由供气系统、抽气系统、温度控制系统、压力校准系统和数据采集系统等组成,其极限真空度为1.77×10-6Pa,校准范围为1.63×10-4Pa～1.33×105Pa,温度范围为-112℃～+93℃,温度波动为±1.3℃,能够满足实际需求.
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