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Simulation of water-cooled shower head for the choice of Zinc and Oxygen precursors for ZnO MOCVD gr
【机 构】
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Nanjing National Laboratory of Microstructures and School of Electronics Science and Engineering,Nan
【出 处】
：
第六届国际氧化锌及相关材料研讨会
【发表日期】
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2010年期
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