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CVD钨涂层的残余热应力模拟与分析
【机 构】
:
中国科学院等离子体物理研究所 合肥 230031 中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室 合肥
【出 处】
:
第十四届全国核物理大会暨第十届会员代表大会
【发表日期】
:
2010年9期
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