基材纳米晶体化对表面薄膜纳米压痕及膜基系统摩擦学行为的影响

来源 :2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wrdyh

【摘要】

：

有关基材纳米晶体化对表面薄膜纳米压痕及膜基系统摩擦学行为影响的研究在国际上尚未见报导.本文以常规粗晶钛和纳米晶体钛为基材,采用磁控溅射技术在其表面制备出碳化硅(SiC)薄膜,对薄膜的纳米力学行为和膜基系统的摩擦磨损行为进行了研究.结果发现:基材纳米晶体化对薄膜的纳米力学行为和膜基系统的摩擦学行为具有非常强烈的影响.基材纳米晶体化大幅度降低了表面薄膜的纳米硬度、弹性模量,明显提高了硬度/模量比,大幅

【作者】

：

许晓静卓刘成郝欣妮夏登福陆树显姜玉杰

【机构】

：

江苏大学先进成形技术研究所镇江 212013

【出处】

：

2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会

【发表日期】

：

2008年5期

【关键词】

：

基材纳米晶体化表面薄膜纳米压痕膜基系统摩擦学行为摩擦磨损性能

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