论文部分内容阅读
硅上微电感是RF-MEMS中至关重要的元件.本文提出一种改进的PEEC法<[1]>用于分析和计算它的趋肤效应和邻近效应.该方法结合了PEEC法和Weeks提出的直导体趋肤效应分析法<[2]>,据此法所编制程序的仿真结果与已有文献上给出的数据很好的相吻合.
RF-MEMS电感趋肤效应和邻近效应的分析
【摘 要】
：
硅上微电感是RF-MEMS中至关重要的元件.本文提出一种改进的PEEC法用于分析和计算它的趋肤效应和邻近效应.该方法结合了PEEC法和Weeks提出的直导体趋肤效应分析法,据此法所编
【机 构】
：
清华大学电子工程系微波与数字通信国家重点实验室(北京)
【出 处】
：
2001全国微波毫米波会议
【发表日期】
：
2001年期
其他文献
在群众生活质量不断提升社会背景下，以往暖湿空气现已难以适应人用户对室内空气质量需求，因此于建筑工程中也逐渐出现了暖通通风管道新技术。本文阐述了暖通通风的基本概念，对几