【摘 要】
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跟常规的商业化闪存相比，铁电场效应晶体管(FeFET)具有更高的集成密度、更低的工作电压和能耗，更好的反复擦写能力，是一种非常有潜力在下一代非易失性存储器件中得到广泛应
【机 构】
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华南师范大学华南先进光电子研究院,广东广州大学城,510006
【出 处】
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中国物理学会2013年秋季学术会议
论文部分内容阅读
跟常规的商业化闪存相比，铁电场效应晶体管(FeFET)具有更高的集成密度、更低的工作电压和能耗，更好的反复擦写能力，是一种非常有潜力在下一代非易失性存储器件中得到广泛应用的新型存储器件。为了解决多晶铁电材料与Si基半导体之间的界面问题，通常需要在铁电材料与Si之间插入一高介电常数的缓冲层，其器件的基本结构如图一所示。
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