高级别洁净室的设计及有关问题

来源 :第八届中国国际洁净技术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lovedan_33
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本文对高级别洁净室的设计及有关问题进行了探讨。文章围绕高级别洁净室的应用、洁净室的送风方式、洁净室的空调负荷特点和节能、洁净室的静电危害和防静电、洁净室的废气排放和废气治理、洁净室的消防和排烟、洁净室分子级化学污染物的控制进行了论述。
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