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台阶位置和平面位置原子构型的区别，在台阶位置存在额外的势垒，即Ehrlich-Schwoebel(ES)势垒.ES势垒对外延薄膜生长质量有重要影响，不仅增加薄膜的表面粗糙度和降低薄膜的最大生长速率，还会影响生长过程中台阶的稳定性，导致台阶聚束.
SiC同质外延薄膜中Ehrlich-Schwoebel势垒的计算
【摘 要】
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台阶位置和平面位置原子构型的区别，在台阶位置存在额外的势垒，即Ehrlich-Schwoebel(ES)势垒.ES势垒对外延薄膜生长质量有重要影响，不仅增加薄膜的表面粗糙度和降低薄膜的最
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
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第17届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
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2015年期
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