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半导体材料中杂质和缺陷对半导体器件的性能有重要的影响。随着对材料的结构、力学、化学和电学特性的深入研究，其缺陷控制、杂质行为、杂质与缺陷相互作用将是需要进行深入研究的很重要的方面。
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【摘 要】
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半导体材料中杂质和缺陷对半导体器件的性能有重要的影响。随着对材料的结构、力学、化学和电学特性的深入研究，其缺陷控制、杂质行为、杂质与缺陷相互作用将是需要进行深入研究的很重要的方面。
【机 构】
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山东省激光偏光与信息技术重点实验室,曲阜师范大学物理工程学院,山东 曲阜 273165 中国科学院
【出 处】
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第十四届全国发光学学术会议
【发表日期】
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2016年5期
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