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本文介绍了Parylene 膜的沉积聚合过程和设备组成，并提出了一种调节抽真空速率的方法，提高原材料的利用率和膜层质量。
一种提高Parylene膜沉积质量的方法
【摘 要】
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本文介绍了Parylene 膜的沉积聚合过程和设备组成，并提出了一种调节抽真空速率的方法，提高原材料的利用率和膜层质量。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十研究所,四川,成都,610036
【出 处】
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第六届全国腐蚀大会
【发表日期】
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2011年期
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