磁敏集成角度传感器及其测量研究

来源 :第六届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:robertruntian
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该文研制了一种无触点的十字形两维集成垂直霍尔器件,它对平行于芯片表面的磁场敏感。当与被测转角(α)的物体轴向相连的径向永久磁铁转动时,磁场分量B<,X>,B<,Y>分量相对变化,造成两对集成霍尔板输出电量相应地变化。这时传感器通过tan<-1>(V<,x>/V<,y>)可求得转角α,从而达到测量角度的目的。测量结果表明角度测量的分辨率可达1<0>。
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