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本研究对等离子体化学气相沉积法(PCVD)制备的纯石英玻璃和掺F石英玻璃进行了拉曼光谱和红外光谱测试。Raman光谱测试中在945cm-1附近出现了新的振动峰，且峰的强度随F含量增加而加强，认为该峰归属于Si—F键。拉曼光谱中缺陷峰的下降表明F的引入起到了断网作用，从而使得石英玻璃结构中三元环和四元环等缺陷结构浓度下降。红外透过谱测试结果与计算得到的吸收波数证实了以[SiO3F]的形式进入玻璃网络。