【摘 要】
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研究了低温等离子体氮化304奥氏体不锈钢过程中离子束流的重要作用.带有负偏压的不锈钢样片被插入到射频电感耦合等离子体反应器中.氮离子束流密度和等离子体成分分别用毫安表和一个等离子体光发射谱仪实时监测.XRD测试结果发现在不锈钢的表层出现了明显的多组分的氮化物微结构，说明离子流密度变化能够显著的影响这种不锈钢的氮化.随着离子束流密度的增加氮化物成分增加同时V相奥氏体成分减少.研究了氮离子流密度以及等
【机 构】
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沈阳工学院机械与运载学院 抚顺 113122 东北大学机械工程与自动化学院 沈阳 110004
【出 处】
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第十一届国际真空冶金与表面工程学术会议、2013年真空工程学术会议暨2013年真空咨询学术会议
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研究了低温等离子体氮化304奥氏体不锈钢过程中离子束流的重要作用.带有负偏压的不锈钢样片被插入到射频电感耦合等离子体反应器中.氮离子束流密度和等离子体成分分别用毫安表和一个等离子体光发射谱仪实时监测.XRD测试结果发现在不锈钢的表层出现了明显的多组分的氮化物微结构，说明离子流密度变化能够显著的影响这种不锈钢的氮化.随着离子束流密度的增加氮化物成分增加同时V相奥氏体成分减少.研究了氮离子流密度以及等离子体发射谱线强度随操作压力、偏压的演变过程.通过实验数据分析和有关文献，提出了利用射频等离子体氮化304不锈钢的合理的氮化区.
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